产品名称

技 术 标 准

纯度 %

（ V/V ）≥

氧含量

% ≤

氮含量

% ≤

酸度（ HG/G ）≤

一氧化碳

% ≤

水份含量

ppm ≤

四氟化碳

99.9

0.035

0.035

1.0

0.002

5

四氟化碳

99.995

0.02

0.02

0.1

0.01

3

四氟化碳

99.999

0.01

0.01

0.1

0.001

2

性状 : 在常温下 , 四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一。

物性：分子量 88.005 ，熔点 -186.8 ℃ ,沸点-128℃,液体密度：1603kg/m 3 ,气体密度3.946kg/m 3 ，

相对密度 3.05，比容0.2747m 3 /kg，气液容积比：436L/L，临界温度：-45.6℃，临界密度629kg/m 3

熔化热： 7.609kj/kg，气化热：135.65kj/kg。

用途 : 四氟化碳是目前微电子工业用量最大的等离子蚀刻气体，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术，气相绝缘低温制冷，泄漏检验剂，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用

注意事项：一般认为是惰性低毒物质，在高浓度下是窒息剂，其毒性不及四氯化碳。